扬帆芯未来，助力新基建，大力推进第三代半导体制造装备国产化

王志越, 巩小亮, 付丙磊

科技导报 ›› 2021, Vol. 39 ›› Issue (14) : 83-91.

PDF(2816 KB)
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科技导报 ›› 2021, Vol. 39 ›› Issue (14) : 83-91. DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2021.14.008
专题：第三代半导体的创新发展

扬帆芯未来，助力新基建，大力推进第三代半导体制造装备国产化

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Promote the domestication of the third-generation semiconductor equipment to embrace the dawn of semiconductors and consolidate the new infrastructure

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