双光束超分辨光刻技术的发展和未来

谢大乐, 艾星星, 甘棕松

科技导报 ›› 2024, Vol. 42 ›› Issue (8) : 21-28.

PDF(975 KB)
PDF(975 KB)
科技导报 ›› 2024, Vol. 42 ›› Issue (8) : 21-28. DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2023.06.00884
专题：关键技术与创新驱动

双光束超分辨光刻技术的发展和未来

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
作者信息 -
作者简介:
通信作者:

Development and future of dual-beam super-resolution lithographic technology

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
Author information -
Corresponding authors:
文章历史 +

本文亮点

{{article.keyPoints_cn}}

HeighLight

{{article.keyPoints_en}}

摘要

{{article.zhaiyao_cn}}

Abstract

{{article.zhaiyao_en}}

关键词

Key words

本文二维码

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用
{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2024, 42(8): 21-28 https://doi.org/10.3981/j.issn.1000-7857.2023.06.00884
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2024, 42(8): 21-28 https://doi.org/10.3981/j.issn.1000-7857.2023.06.00884
中图分类号：

参考文献

列表( 原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序 ) 可视化分析

参考文献

{{article.reference}}

基金

版权

{{article.copyrightStatement_cn}}
{{article.copyrightLicense_cn}}
PDF(975 KB)

Accesses

Citation

Detail
段落导航
相关文章

联系我们

  • 地址：北京市海淀区学院南路86号科技导报社　邮编：100081
  • 电话：010-62138113　传真：010-62138113
  • E-mail：kjdbbjb@cast.org.cn

    • 访问统计

      总访问量
      今日访问
      在线人数
    科技导报官方微信公众号
    京ICP备14028469号-1　
    本网站由科技导报社主办　
    版权所有 © 《科技导报》编辑部

    /

    〈 〉